6月28日,蘇州博眾儀器科技有限公司(以下簡稱“博眾儀器”)發布國產首臺商用200千伏場發射透射電子顯微鏡BZ-F200。該顯微鏡的點分辨率達到0.25納米,晶格分辨率達到0.14納米,能夠直接分辨絕大多數材料的晶格結構。
透射電子顯微鏡是一種高分辨率的微觀分析儀器。顯微鏡中的電子束穿透樣品后,會攜帶樣品內部結構信息,這些信息經過放大系統成像后,可放大百萬倍,從而幫助使用者觀察原子級圖像。透射電子顯微鏡廣泛應用于納米級的研究與觀測,是材料科學、生命科學和半導體等領域研究所必需的高端儀器設備。
BZ-F200的研發歷時5年。博眾儀器技術總監梁晶博士介紹,此前,高端透射電鏡產業長期被國外儀器公司壟斷,核心零部件受到國外技術封鎖,針對這項痛點,博眾儀器陸續實現了熱場電子槍、超高穩定度電源、熱場電子源、精密加工鏡筒、納米級測角臺等核心零部件的自主生產,并在用戶先期試用中得到驗證。
梁晶介紹,該顯微鏡主要聚焦材料研發以及前沿科學領域,適用于晶格尺度的結構解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。
“經過5年的技術攻關與反復錘煉,我們已將BZ-F200從整機到每一個關鍵零部件的全鏈條核心技術牢牢掌握在自己手中。”博眾儀器總經理唐愛權表示。