6月28日,蘇州博眾儀器科技有限公司(以下簡稱“博眾儀器”)發(fā)布國產(chǎn)首臺商用200千伏場發(fā)射透射電子顯微鏡BZ-F200。該顯微鏡的點分辨率達(dá)到0.25納米,晶格分辨率達(dá)到0.14納米,能夠直接分辨絕大多數(shù)材料的晶格結(jié)構(gòu)。
透射電子顯微鏡是一種高分辨率的微觀分析儀器。顯微鏡中的電子束穿透樣品后,會攜帶樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息,這些信息經(jīng)過放大系統(tǒng)成像后,可放大百萬倍,從而幫助使用者觀察原子級圖像。透射電子顯微鏡廣泛應(yīng)用于納米級的研究與觀測,是材料科學(xué)、生命科學(xué)和半導(dǎo)體等領(lǐng)域研究所必需的高端儀器設(shè)備。
BZ-F200的研發(fā)歷時5年。博眾儀器技術(shù)總監(jiān)梁晶博士介紹,此前,高端透射電鏡產(chǎn)業(yè)長期被國外儀器公司壟斷,核心零部件受到國外技術(shù)封鎖,針對這項痛點,博眾儀器陸續(xù)實現(xiàn)了熱場電子槍、超高穩(wěn)定度電源、熱場電子源、精密加工鏡筒、納米級測角臺等核心零部件的自主生產(chǎn),并在用戶先期試用中得到驗證。
梁晶介紹,該顯微鏡主要聚焦材料研發(fā)以及前沿科學(xué)領(lǐng)域,適用于晶格尺度的結(jié)構(gòu)解析、缺陷分析、界面表征以及成分分析等研究。
“經(jīng)過5年的技術(shù)攻關(guān)與反復(fù)錘煉,我們已將BZ-F200從整機(jī)到每一個關(guān)鍵零部件的全鏈條核心技術(shù)牢牢掌握在自己手中。”博眾儀器總經(jīng)理唐愛權(quán)表示。