大束科技是一家專注于電子顯微鏡核心部件研發與生產的領軍企業,近日宣布其場發射電子源和液態鎵離子源已成功實現規模化量產。這一突破不僅滿足了國內市場的需求,更為全球電鏡行業提供了高性價比的中國制造選擇。
自2015年起,大束科技便致力于商品化熱場肖特基電子源的研發與銷售,通過不斷技術創新和生產能力提升,公司目前在北京的生產基地已全面啟動自動化生產線。該生產線由大束科技獨立設計、組裝并調試,預計全年可生產5000套各類電子源和離子源產品。得益于自動化生產設備的引入,產品一致性得到了顯著提升。
大束科技的產品廣泛應用于掃描電鏡SEM、透射電鏡TEM、電子束光刻EBL、關鍵尺寸量測設備CD-SEM、電子束晶圓缺陷復查設備Review SEM以及電子束缺陷檢測EBI等多個領域。公司堅持“只做核心部件,不做整機”的定位,以供應鏈思維推動中國電鏡行業的發展。
在發射源產品方面,大束科技提供了從熱致發射的鎢燈絲、六硼化鑭燈絲到熱場肖特基電子源、冷場電子源的全系列產品,以及FIB聚焦離子束的液態鎵離子源,這些產品規格多樣,可完全兼容市場上的進口產品。規模化量產的實現,標志著中國在帶電粒子發射源領域實現了自主可控。
除了電子源和離子源,大束科技還提供電子槍和離子槍及其關鍵部件,如物鏡、透鏡、偏轉器等。公司還研發了多種光闌、電鏡控制電源模塊和探測器,以滿足不同應用場景的需求。
大束科技不僅提供高質量的產品,還建立了覆蓋全國的技術服務團隊,為客戶提供電鏡維修、部件安裝和搬遷服務。公司產品研發始終圍繞客戶需求,例如推出的冷水機就以其優異的性價比受到市場青睞。
大束科技的這一成就,不僅為國內電鏡整機廠家提供了更多的部件選擇,促進了電鏡供應鏈的完善,也為全球電鏡行業的發展貢獻了中國力量。隨著電鏡核心部件的規模化量產,大束科技正引領中國電鏡行業邁向更加廣闊的舞臺。